作者单位
摘要
1 School of Optoelectronic Science and Engineering, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, China
2 Wuhan National Laboratory for Optoelectronics, Wuhan 430074, China
infrared (IR) porous silicon microbolometer micromachining 
Frontiers of Optoelectronics
2012, 5(3): 292

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